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EMF20爱德华油雾过滤芯，爱德华EMF20真空泵油雾过滤器A46229000爱德华EMF10真空泵油雾过滤器A46226000爱德华真空泵油雾过滤器从泵的出气口捕获油雾，否则，这些油雾会被喷射到大气中。在使用气囊或抽送高的气体吞吐量时，可能会发生这种情况。您也可以让油雾过滤器中捕集的油回流到泵中，但必须确保制程气体不会污染泵或泵油。EMF3油雾过滤器适用于E2M0.7、E2M1.5和Speedi
爱德华ultragrade70真空泵油参数ultragrade70爱德华真空泵油蒸汽压力mbar：20°C2.1x10-7100°C3.0x10-3分子量60015°C时的比重0.86粘度cSt：20°C时22240°C时70倾点°C-12闪点°C230自燃点°C360含硫量百分比（质量/质量）0分别4升（H11028013）、205升（H11028010）应用质谱分析仪电子显微镜薄膜溅射表面研究
